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Toward Inertial-Navigation-on-Chip

The Physics and Performance Scaling of Multi-Degree-of-Freedom Resonant MEMS Gyroscopes de

Éditeur :

Springer


Collection :

Springer Theses

Paru le : 2019-09-14

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Description
Cette thèse développe des gyroscopes multidegré de liberté de nouvelle génération et des unités de mesure inertielle (IMU) utilisant la technologie des systèmes microélectromécaniques (MEMS). Il couvre à la fois une étude complète de la physique des gyroscopes à résonateur et de nouvelles solutions de micro et nanofabrication jusqu'aux principales limites de performance des gyroscopes à résonateur MEMS. Premièrement, les études théoriques et expérimentales des phénomènes physiques, y compris la localisation des modes, le comportement non linéaire et la dissipation de l'énergie, fournissent de nouvelles perspectives sur des défis comme les erreurs en quadrature et le bruit de scintillement dans les systèmes de gyroscope à résonateur. Deuxièmement, les conceptions avancées et les méthodes de micro/nanofabrication mises au point dans le cadre de ce travail démontrent des applications utiles à une vaste gamme d'appareils MEMS/NEMS. En particulier, la plate-forme de procédé HARPSS+ mise au point dans le cadre de cette thèse comprend un nouveau transducteur à nano-entrefer incliné, qui a permis la mise au point du premier prototype d'UMI monopuce monobloc au niveau de la plaquette avec des gyroscopes triaxiaux résonants haute fréquence co-fabriqués et des accéléromètres triaxiaux haute-gravité à large bande. Ce prototype démontre des performances parmi les plus élevées à ce jour, avec une robustesse inégalée et un potentiel d'intégration flexible du substrat et de fonctionnement à très faible consommation. Cette thèse montre la voie vers de futures applications à faible consommation d'énergie basées sur l'UMI, notamment les capteurs inertiels portables, l'informatique de la santé et la navigation inertielle personnelle.
Pages
127 pages
Collection
Springer Theses
Parution
2019-09-14
Marque
Springer
EAN papier
9783030254698
EAN PDF
9783030254704
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
12
Taille du fichier
5325 Ko
Prix
137,14 €
EAN EPUB
9783030254704
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
12
Taille du fichier
25856 Ko
Prix
137,14 €

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