Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

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Éditeur :

Springer


Collection :

NanoScience and Technology

Paru le : 2018-03-21

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Description

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.
Pages
138 pages
Collection
NanoScience and Technology
Parution
2018-03-21
Marque
Springer
EAN papier
9783319762937
EAN PDF
9783319762944

Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
13
Taille du fichier
12657 Ko
Prix
94,94 €
EAN EPUB
9783319762944

Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
13
Taille du fichier
3441 Ko
Prix
94,94 €